遷移金属触媒/金属錯体

金属カルボン酸塩

酸化物薄膜

作製膜性状例(AFM像)
作製膜性状例(AFM像)
GO(ガリウム酸化物)
□20µm、Ra：0.26nm



膜合成例 ：
ITO(インジウム－スズ酸化物)
PZT(チタン－ジルコン酸鉛)
STO(SrTiO3)

UV照射によるパターン化

UV照射によるパターン化


試作品  
·Y(CF3COO)3 トリフルオロ酢酸イットリウム
·Ba(CF3COO)2 トリフルオロ酢酸バリウム
·Cu(CF3COO)2 トリフルオロ酢酸銅
(用途)超伝導薄膜
金属酸化物薄膜用原料
金属酸化物薄膜用原料

*図中太字は提供可能物質