有機カルボン酸塩使用例
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酸化物薄膜 拡大画像 作製膜性状例（AFM像） GO（ガリウム酸化物） □20µm、Ra：0.26nm |
膜合成例 ： ITO（インジウム−スズ 酸化物） PZT（チタン−ジルコン酸鉛） STO（SrTiO3） |
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UV照射によるパターン化 拡大画像 |
| 試作品 | |
| ・Y(CF3COO)3 | トリフルオロ酢酸イットリウム |
| ・Ba(CF3COO)2 | トリフルオロ酢酸バリウム |
| ・Cu(CF3COO)2 | トリフルオロ酢酸銅 |
| (用途) 超伝導薄膜 | |
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金属酸化物薄膜用原料 拡大画像 ※図中太字は提供可能物質 |
