遷移金属触媒/金属錯体
金属カルボン酸塩
酸化物薄膜

作製膜性状例(AFM像)
GO(ガリウム酸化物)
□20µm、Ra:0.26nm
膜合成例 :GO(ガリウム酸化物)
□20µm、Ra:0.26nm
ITO(インジウム-スズ酸化物)
PZT(チタン-ジルコン酸鉛)
STO(SrTiO3)
UV照射によるパターン化

| 試作品 | |
| ·Y(CF3COO)3 | トリフルオロ酢酸イットリウム |
| ·Ba(CF3COO)2 | トリフルオロ酢酸バリウム |
| ·Cu(CF3COO)2 | トリフルオロ酢酸銅 |
| (用途)超伝導薄膜 | |
*図中太字は提供可能物質
